中国光刻机之殇:入华32年,ASML出货700多台,但EUV被美国盯死
中国需要光刻机,尤其是支持先进制程的高端光刻机。具体来说,就是 EUV (极紫外光源)光刻机。 【详细】
光刻机 ASML 2020-11-10